Positive SSL
1 下列何者不是微機電系統的微小化途徑?
A 利用超音波作微細加工
B 利用電子束、雷射束或離子束等能量束進行切割或刻痕加工
C 以微放電加工的熱來移除微量材料以微放電加工的熱來移除微量材料
D 沿用半導體製程,將不同功能的元件整合製作在一個晶粒上
超音波加工以磨粒撞擊加工物,無法微細化