A 必須先製作光罩
B 以刷子在晶圓上塗佈光阻劑
C 光阻液要再經過烘烤除去光組液內之溶劑
D 以紫外線曝光
晶圓放在塗佈機上,滴一滴光阻液,塗佈機以1,000~5,000rpm之轉速旋轉,光阻液因離心力作用均勻向外流動,佈滿晶圓表面形成一薄層的附著膜
A 製程容易自動化
B 製造的軟硬體設備價格便宜
C 需要投入大量的研發資金與人才
D 製造精密度極高,製造流程又相當長
IC產業的軟硬體設備非常昂貴
A 將二氧化矽經過多道的熔解、還原及精煉成為無缺陷的高品質電子級的矽
B 常以柴可斯基法拉晶
C 晶圓直徑由種晶決定
D 每小時可拉出1m長的晶柱
晶柱拉出之速度為10μm/sec,亦即每拉出1m長的晶柱約需28小時
A 為乾式蝕刻法
B 線條精度較低
C 為等向性蝕刻
D 會產生過切現象
濺散蝕刻為非等向性蝕刻,不產生過切現象,所以線條精度較高
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時間在那裡! 成就就在那裡!
Stay out of it. (你別管)